Elastische Rückstreudetektionsanalyse

Elastische Rückstreudetektionsanalyse (Elastic Recoil Detection Analysis, kurz ERDA) ist eine Methode in der Physik und Materialwissenschaft, um Aussagen über Materialzusammensetzungen zu gewinnen.

Bei der ERDA wird ein Teilchenstrahl schwerer Ionen (z. B. Ar, Ni, Kr oder Xe) auf eine Probe geschossen. Die Teilchenenergie liegt dabei im Bereich von 0,5 – 3 MeV pro Nukleon. Im Gegensatz zu Rutherford-Backscattering-Spectrometry- (RBS-) Analysen wird hierbei unter Vorwärtswinkeln detektiert. Des Weiteren wird nicht der gestreute Teilchenstrahl selbst, sondern die von diesem aus der Probe gestreuten Teilchen nachgewiesen. Mittels eines $\Delta$E-E-Zählers kann somit nicht nur die Energie des Teilchens, das gestreut wurde, nachgewiesen werden (wie bei RBS), sondern auch um welches Teilchen es sich handelt.

ERDA-Messungen werden vor allem zur Detektion leichter Elemente verwendet. Entsprechend stellt ERDA ein komplementäres Verfahren zu RBS dar.

Weblinks

• Schichtanalytik mit schweren Ionen durch Energieverlustmessung (PDF-Datei)