Süss Microtec

Süss Microtec SE
Rechtsform	Aktiengesellschaft
ISIN	DE000A1K0235
Gründung	1949
Sitz	Garching bei München, Deutschland Deutschland
Leitung	Götz Bendele Oliver Albrecht Thomas Rohe
Mitarbeiterzahl	1.178
Umsatz	263,4 Mio. Euro (GJ 2021)
Branche	Halbleiterindustrie
Website	www.suss.com
Stand: 5. April 2022

Süss MicroTec ist ein Anbieter von Geräten und Prozesslösungen für den Halbleitermarkt, Nano- und Mikrosystemtechnik und verwandter Märkte.

Die Maschinen, Anlagen und Systeme für die Mikrostrukturierung, wie zum Beispiel fotolithografische Geräte, finden ihren Einsatz bei der Herstellung von Prozessoren, Speicher-Chips, MEMS, LEDs und anderen Mikrosystemtechnik-Bauteilen. Süss MicroTec ist Lieferant für die industrielle Großserienproduktion und für Einrichtungen aus dem Bereich Forschung und Entwicklung.

Hauptsitz der Süss-MicroTec-Gruppe ist Garching bei München.

Unternehmensentwicklung

Entwicklung 1940er und 1950er Jahre

Im Jahre 1949 gründete Karl Süss die Karl Süss KG und übernahm als Handelsvertreter für Bayern den Vertrieb für optische Geräte (Mikroskope, Kameras und Laborausrüstungen) der Ernst Leitz GmbH. Mit zunehmender technischer Expertise wandelte sich das Unternehmen von einer reinen Vertriebsgesellschaft mit fünf Beschäftigten zum Auftragsfertiger.

Entwicklung 1960er Jahre

Der Auftrag von Siemens im Jahre 1963 zur Entwicklung eines einfachen Fotolithografiegerätes bildete den Grundstein für die spätere Ausrichtung des Unternehmens und den ersten Schritt in die Halbleiterbranche. Der erste Auftrag von Siemens umfasste kleine Messtische mit Stereomikroskopen, die miteinander gebondet sind. 1963 entwickelt Süss den Prototyp des ersten Mask-Aligners MJB3 für Siemens. Karl Süss und seine beiden Söhne Ekkehard und Winfried bauen das Fertigungsunternehmen erfolgreich aus.

1968 zog das Unternehmen mit seiner Produktion und inzwischen 30 Mitarbeitern nach Garching.

Entwicklung 1970er Jahre

Die Entwicklung der Halbleiterindustrie bot dem Unternehmen vielerlei neue Geschäftschancen. Süss begann, Diamantritzer und Spin-Coater herzustellen. Der erste Mask-Aligner, der eine doppelseitige Belichtung ermöglichte, wurde 1974 erfunden. Als anerkannter Experte für Fotolithographie für die Partner in Forschung und Entwicklung richtete sich Süss schwerpunktmäßig an Kunden aus der Fertigungsindustrie. 1975 lancierte das Unternehmen mit dem MJB55 den ersten Mask-Aligner für die Massenproduktion.

Entwicklung 1980er Jahre

Die 1980er Jahre ermöglichten Süss die weltweite Expansion. Seine Aktivitäten in Übersee begann Süss mit einem Werk in Waterbury, Vermont, den USA. 1983 wurde eine asiatische Tochtergesellschaft in Thailand gegründet, der weitere Vertriebsbüros in Japan, China und Taiwan folgten. Süss bereitete sich auf die Herstellung von Bondern vor. Nebenbei unternahm das Unternehmen einen Vorstoß in das sehr spezialisierte Feld der Röntgen-Stepper-Lithographie. In Dresden eröffnete Süss ein Werk für die Herstellung von Probern.

Neben den Justiergeräten wurden auch Systeme für verwandte Prozesse wie Entwicklung, Reinigung und Bonding entwickelt. Mit dem Wafer Bonder ging das Unternehmen im Jahre 1980 in den USA in Waterbury/Vermont serienmäßig in Produktion.

Entwicklung 1990er Jahre

Süss kam der wachsenden Nachfrage nach Mikrosystemen 1989 mit der Lancierung des ersten Substrat-Bonders nach. In der Mikrosystemtechnologie ließen sich mit Substrat-Bondern heterogene Werkstoffe mit strukturierten Oberflächen verbinden. 1993 konnte Süss das Produktportfolio um Device-Bonder erweitern.

1994 starben der Unternehmensgründer Karl Süss und sein ältester Sohn Ekkehard Süss kurz nacheinander. Dies führte zu einer Reorganisation des Unternehmens. Winfried Süss, Sohn von Karl Süss, vertrat die Familie im Aufsichtsrat. 1999 ging die Holding der Süss-Gruppe als Süss Microtec AG an die Börse.

Entwicklung 2000er Jahre

Durch die Akquisition von Fairchild Technologies betrat das Unternehmen 2000 mit Beschichtungsanlagen die oberen Marktsegmente. Ab 2001 verstärkt das Geschäftsfeld Mikrooptiken der neu gegründeten Suss MicroOptics das lithografische Portfolio von Süss MicroTec. 2002 wurden die Tochtergesellschaften in Suss MicroTec umfirmiert.

2006 wurde die erfolgreiche Gebrauchtanlagensparte in das Unternehmen Süss MicroTec Reman ausgegliedert. 2007 wurde die Produktlinie Device Bonder, zwei Jahre später die Prober-Linie verkauft. Die Eröffnung von Geschäftsstellen in Singapur und Korea verstärkte die Präsenz des Unternehmens in Asien.

Entwicklung 2010er Jahre

Die 2010er Jahre war durch Schwankungen des Marktes für Halbleiter-Anlagentechnik gekennzeichnet. Die Geschäftspolitik leitete eine Konzentration auf Kernkompetenzen und gezielte Zukäufe ein. 2010 erwarb Süss MicroTec mit Hamatech APE einen Anlagenhersteller für die Fotomasken-Prozessierungstechnologie. Im gleichen Jahr wurde die Produktion von Substrat-Bondern aus Waterbury (USA) in das neu erworbene Werk in Sternenfels verlagert. Seither werden Beschichtungsanlagen, Bonder und Fotomasken-Prozessierungsanlagen im selben Werk hergestellt, das sich damit zum Kompetenzzentrum für die Nassverarbeitungstechnologie entwickelt. Mit der Akquisition von Tamarack Scientific 2014 ergänzte das Unternehmen sein lithographisches Portfolio um moderne Laserprozessierungstechnologie für die Übertragung von Mikrostrukturen.

Vertriebs-Niederlassungen der Süss MicroTec bestehen unter anderem in Thailand, Japan, Taiwan, China und Korea.

Tochtergesellschaften

Seit der Gründung des Unternehmens GMA im Jahr 1989, hervorgegangen aus der ehemaligen Elektromat, in Sacka bei Dresden, produziert Süss MicroTec selbst Systeme für das Testen von Mikro-Bauteilen. Im Jahre 1993 erweiterte Süss MicroTec mit der Übernahme der französischen S.E.T. seine Produktpalette um Spin Coater und Device Bonder. Die nächste Akquisition erfolgte im Jahre 1999 mit Convac (veräußert durch das Unternehmen Fairchild Semiconductor). Durch den Aufkauf von Image Technology, USA, ergänzen seit 2001 für lithographische Prozesse eingesetzte Fotomasken das Portfolio der Gruppe. Seit der Gründung der Suss Microoptics in Neuchâtel, Schweiz im Jahre 2002 bietet das Unternehmen auch optische Mikrolinsen an.

Im Jahre 2007 verkaufte Süss MicroTec die Produktsparte Device-Bonder. Mit der Übernahme der Hamatech APE zu Beginn des Jahres 2010 und dem Verkauf der Sparte Testsysteme baute die Süss-Gruppe zum einen ihre Kernkompetenz im Bereich Nassprozesse weiter aus und setzt zum anderen einen klaren Fokus auf die Mikrostrukturierung von Bauteilen.

Im Jahr 2012 kaufte Süss MicroTec das Unternehmen Tamarack Scientific Co. Inc. Tamarack entwickelt, produziert und vertreibt UV-Projektionsbelichtungsgeräte sowie laserbasierte Mikrostrukturierungssysteme.

Forschung- und Entwicklung

Bereits der Unternehmensgründer pflegte einen engen Austausch mit der Wissenschaft. Süss MicroTec baut laufend die Anstrengungen im Bereich Forschung und Entwicklung aus zur Steigerung der Innovationsgeschwindigkeit. Neben starken Entwicklungsaktivitäten und einer regen Zusammenarbeit mit führenden Forschungseinrichtungen und Universitäten werden alle Prozesse auf höchstmögliche Entwicklungsgeschwindigkeit und -effizienz, zur Verbesserung der Wertschöpfung der Anwender, ausgerichtet.

Süss MicroTec arbeitet mit den folgenden Forschungsorganisationen weltweit an der Spitze technologischer Entwicklung:

• blz (Bayerisches Laserzentrum)
• Fraunhofer IISB
• Fraunhofer IST
• Fraunhofer IOF
• Fraunhofer IZM
• Friedrich-Alexander-Universität, Erlangen, ODEM (Optical Design, Measurement and Micro Optics)
• IMEC (Interuniversity Microelectronics Centre), Belgien
• Forschungsinstitut für Industrietechnologie (ITRI), Taiwan
• MFA (Research Institute for Technical Physics and Materials Science), Ungarn
• Universität Kassel - INA (Institute of Nanostructures Technologies and Analytics).

Produktportfolio

Das Portfolio umfasst ein breites Spektrum an Produkten und Lösungen für die Bereiche Backend Lithographie, Wafer Bonden und Fotomasken Reinigung, ergänzt durch mikrooptische Komponenten:

• Fotomasken-Systeme
• Belacker und Entwickler
• Tintenstrahldruck
• Mask Aligner
• Laserprozessierungs-Systeme
• Wafer Bonder
• Mikrooptik
• Gebrauchtmaschinen.

Anwendungen

Wichtige Endanwendungen für Sensoren und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) sind Konsumelektronik (Unterhaltungselektronik, Hausgeräte, Mobiltelefone, Fotoapparate etc.), Maschinen- und Anlagenbau, Steuerungs-, Mess- und Regeltechnik, Processorhersteller, Labortechnik, Medizintechnik, Automotive, Luft- und Raumfahrt sowie Sicherheitsanwendungen. Zum direkten Kundenkreis zählen bei MEMS zu 55 % OSATs (Outsourced-Assembly-and-Test-Unternehmen) und zu 45 % IDMs (Integrated-Device-Manufacturer) als wichtige Akteure der Halbleiterindustrie.

Auszeichnungen

2008 wurde das Unternehmen mit dem Georg-Waeber-Innovationspreis der Fraunhofer-Gesellschaft für seine Forschungsarbeit im Bereich UV-Nanoimprint Lithography ausgezeichnet. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut IISB (Integrierte Systeme und Bauelement-Technologie) hat Süss MicroTec Geräte entwickelt, die neuartige Replikationstechnologien im Mikro- und Nanobereich unterstützen.

Weblinks

• Unternehmensgeschichte