Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc.
Rechtsform	Inc.
ISIN	US0545402085
Sitz	Beverly (Massachusetts), Vereinigte Staaten von Amerika
Leitung	Mary G. Puma (Chairman and CEO)
Mitarbeiterzahl	845
Umsatz	267 Mio. US-Dollar
Branche	Anlagenbau
Website	www.axcelis.com
Stand: 2016

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanisches Unternehmen, das sich mit dem Design, der Herstellung und dem Service von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie weltweit beschäftigt. Sie produziert Ionenimplantationssysteme, darunter Hoch- und Mittelstromimplantierer sowie Hochenergieimplantierer, aber auch Lackaushärtungssysteme für die Fotolithografie, die alle bei der Herstellung von Halbleiterchips eingesetzt werden. Das Unternehmen wurde 1995 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Beverly, Massachusetts, USA.

Im Jahr 2000 hat die Eaton Corporation ihr Geschäft mit Halbleiterherstellungsanlagen unter dem Namen Axcelis Technologies ausgegliedert.

Am 4. Dezember 2012 beschloss Axcelis Technologies sein Plasmastrip-Geschäft aufzugeben und den entsprechenden Geschäftsbereich inklusive der Technologie seiner Integra-Produktlinie an Lam Research zu veräußern.

Einzelnachweise

42.575833333333-70.905