Methylsilan

Strukturformel
Keile zur Verdeutlichung des räumlichen Aufbaus
Allgemeines
Name	Methylsilan
Andere Namen	Monomethylsilan
Summenformel	CH6Si
Kurzbeschreibung	farbloses Gas mit widerlichem Geruch
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 992-94-9 EG-Nummer 213-598-5 ECHA-InfoCard 100.012.362 PubChem 70434
Eigenschaften
Molare Masse	46,14 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	2,076 kg/m³ 0,628 g/cm³ (flüssig, bei −57,5 °C)
Schmelzpunkt	−156,8 °C
Siedepunkt	−57,5 °C
Dampfdruck	13,043 bar (20 °C) 16,5 bar (30 °C) 25,2 bar (50 °C)
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung Gefahr H- und P-Sätze H: 220​‐​280 P: 210​‐​377​‐​381​‐​403
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Methylsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der siliziumorganischen Verbindungen.

Darstellung

Methylsilan kann in quantitativer Ausbeute durch Umsetzung von Monochlorsilan mit einem Überschuss von Dimethylzink hergestellt werden.

$\mathrm {SiH_{3}Cl+\ Zn(CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow[{}]{}}\ Si(CH_{3})H_{3}\ +\ ClZnCH_{3}}$

Eigenschaften

Methylsilan ist ein extrem entzündbares, farbloses Gas (Flammpunkt ≤ −30 °C) mit widerlichem Geruch. Es ist schwerer als Luft (relative Gasdichte= 1,606), bildet mit Luft explosive Gemische (untere Explosionsgrenze bei 1,3 Vol.-% bzw. 25 g·m⁻³, obere Explosionsgrenze bei 88,9 Vol.-% bzw. 1735 g·m⁻³) und kann sich an der Luft selbst entzünden. Es zersetzt sich bei Erhitzung.

Verwendung

Methylsilan wird bei der chemischen Gasphasenepitaxie (VPE) von Germanium-dotierten Siliciumcarbidschichten (Ge:SiC) verwendet.

Verwandte Verbindungen

• Dimethylsilan
• Trimethylsilan
• Tetramethylsilan