Wolframdisilicid
| Strukturformel | |||||||||||||
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| _ W _ Si | |||||||||||||
| Allgemeines | |||||||||||||
| Name | Wolframdisilicid | ||||||||||||
| Andere Namen |
Wolframsilicid (mehrdeutig) | ||||||||||||
| Summenformel | WSi2 | ||||||||||||
| Kurzbeschreibung |
blau grauer Feststoff[1] | ||||||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | |||||||||||||
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| Eigenschaften | |||||||||||||
| Molare Masse | 240,01 g·mol−1 | ||||||||||||
| Aggregatzustand |
fest[2] | ||||||||||||
| Dichte |
9,3 g·cm−3[1] | ||||||||||||
| Schmelzpunkt | |||||||||||||
| Löslichkeit |
nahezu unlöslich in Wasser[1] | ||||||||||||
| Sicherheitshinweise | |||||||||||||
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| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. | |||||||||||||
Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W5Si3[3].
Gewinnung und Darstellung
Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.[4]
Eigenschaften
Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.[1] Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid[5] bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm (Raumgruppen-Nr. 139).[6]
Verwendung
Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.[7][8]
Einzelnachweise
- ↑ a b c d e W. M. Haynes (Hrsg.): CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data. begründet von David R. Lide. 93. Auflage. CRC Press, Boca Raton 2012, ISBN 978-1-4398-8049-4, S. 4–96 (englisch, eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ a b Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 12. Oktober 2012 (PDF).
- ↑ Externe Identifikatoren von bzw. Datenbank-Links zu Pentawolframtrisilicid: CAS-Nummer: 12039-95-1, EG-Nummer: 234-912-7, ECHA-InfoCard: 100.031.726, PubChem: 6336893, ChemSpider: 4891886, Wikidata: Q82897389.
- ↑ Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
