ASML

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ASML Holding N.V.

Rechtsform Naamloze Vennootschap
ISIN NL0010273215
Gründung 1984
Sitz Veldhoven, Niederlande Niederlande
Leitung Peter Wennink (CEO)[1]
Mitarbeiterzahl 28.073[2]
Umsatz 14,0 Mrd. USD[2]
Branche Halbleiterindustrie
Website www.asml.com
Stand: 31. Dezember 2020
Hauptsitz von ASML in Veldhoven

Die ASML Holding N.V. ist ein niederländisches Unternehmen und der weltweit größte Anbieter von Lithographiesystemen für die Halbleiterindustrie. Die überaus komplexen Maschinen spielen eine wichtige Rolle bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (Mikrochips). Die meisten Chiphersteller (Foundries und IDMs) weltweit sind Kunden von ASML, der weltweite Marktanteil betrug 2020 62 %.[3] ASML bietet weltweiten Kundendienst an über 50 Servicestellen in 14 Ländern.

Der Hauptsitz von ASML befindet sich in Veldhoven in den Niederlanden. Dort befinden sich auch die Forschungs- und Entwicklungsabteilung sowie die Montage unter Reinraum-Bedingungen.

Geschichte

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Die Firma wurde 1984 als ein Joint-Venture von ASM International (ASMI) und Philips gegründet, damals noch unter dem Namen „ASM Lithography“.[4]

Nach Eröffnung des Hauptquartiers in Veldhoven und einer Niederlassung in Tempe (Arizona) im Jahre 1985 hatte das Unternehmen ca. 100 Mitarbeiter.

1986 wurde das erste Halbleiter-Belichtungssystem unter dem Namen PAS 2500 auf den Markt gebracht. Dieser Stepper arbeitete mit UV-Licht mit einer Wellenlänge von 436 nm. Gleichzeitig begann man eine bis heute andauernde Zusammenarbeit mit dem Optikunternehmen Carl Zeiss.

ASMI verkaufte 1988 ihre Anteile am Joint-Venture an Philips.

Im März 1995 brachte Philips ASML an die Börse. Das Unternehmen ist im AEX und NASDAQ notiert.[5]

2003 stellte das Unternehmen erste Versuchsanlagen für die Immersionslithografie vor (TWINSCAN AT: 1150i). Hierbei wird das Licht von der Optik durch eine Wasserschicht (statt Luft) zwischen der Optik und dem Wafer projiziert. Damit verbessert sich die numerische Apertur und somit die Abbildungsqualität des Systems. Bei diesen ersten Anlagen handelte es sich um umgebaute „trockene“ ArF-Lithografiesysteme für erste Machbarkeitsstudien. Ein Jahr später folgten Umbausätze Twinscan XT:1400 (nach dem Umbau Twinscan XT:1400i genannt) das bereits für die Produktion genutzt werden konnte.[6] 2005 kam dann das erste für die Immersionslithografie entworfene Produkt (TWINSCAN XT:1700i) von ASML auf den Markt.[7]

Um die Entwicklung von Systemen für immer kleinere Strukturen zu finanzieren, beteiligten sich 2012 drei der wichtigsten Kunden (Intel, TSMC und Samsung) an ASML und sicherten finanzielle Unterstützung der Entwicklung für die nächsten fünf Jahre zu.[5]

Anfang 2013 wurde die Übernahme der 1986 in San Diego gegründeten Cymer, Inc. für 1,95 Mrd. US-Dollar abgeschlossen.[8][9] Mit der Übernahme des Herstellers von Lasern sollte die Entwicklung von Maschinen für die EUV-Lithografie, die zur Herstellung von Halbleitern mit kleineren Strukturgrößen benötigt werden, gesichert werden. Cymer war selbst nicht in der Lage, eine EUV-Lichtquelle für den industriellen Einsatz zu erzeugen, und hatte 2012 die Entwicklung aufgegeben, besaß jedoch wichtige Patente für die Technologie.[10] Die Kohlendioxidlaser der EUV-Scanner werden vom deutschen Maschinenhersteller Trumpf geliefert, mit dem seit 2004 eine Partnerschaft im Bereich der EUV-Technologie besteht.[11] Im November 2020 wurde die Übernahme des Optikherstellers Berliner Glas abgeschlossen.[12][13]

Strategische Relevanz

2021 gab ASML bekannt, weitere Ausstattung zur fortschrittlichen EUV-Lithografie an die chinesische Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) verkaufen zu wollen, sofern die zuständigen Behörden dies zuließen. Das US-Handelsministerium verdächtigt SMIC, Wissenstransfer in militärnahe Unternehmungen zu betreiben und will deshalb auf den Abbruch der Vereinbarung hinwirken.[14] Wenige Tage zuvor war die Schließung des chinesischen Halbleiterherstellers HSMC bekannt geworden, was eine Abhängigkeit von der taiwanesischen TSMC bedeutet hätte.[15] Auch die geostrategische Bedeutung ASMLs wird durch seine Technologieführerschaft verstärkt diskutiert.[16]

Markt

Die wichtigsten Wettbewerber auf dem Markt der Lithographiesysteme für die Halbleiterindustrie sind Canon, Nikon sowie die seit 2017 zu Veeco gehörende Ultratech.[17] 2017 hat ASML als derzeit einziger Anbieter überhaupt die ersten zwölf EUV-Maschinen an Kunden ausgeliefert.[18] Jede Maschine hat dabei ca. die Größe eines Busses, benötigt drei Boeing 747 für die Auslieferung und kostet ca. 150 Mio. Euro.[10] [18]

Weblinks

Commons: ASML – Sammlung von Bildern, Videos und Audiodateien

Einzelnachweise

  1. ↑ ASML Board of Management
  2. ↑ a b Annual Report 2020. (PDF) ASML, 10. Februar 2021, abgerufen am 25. August 2021 (englisch).
  3. ↑ How ASML became chipmaking’s biggest monopoly. The Economist. 27. Februar 2020. Abgerufen am 25. August 2021.
  4. ↑ About ASML: Questions and Answers. ASML Holding. Abgerufen am 3. August 2010.
  5. ↑ a b Our history. ASML, archiviert vom Original am 2. Juli 2018; abgerufen am 14. Mai 2018 (englisch).
  6. ↑ Mark LaPedus: EETimes - ASML debuts 193-nm dry/immersion litho tool. In: EETimes. 20. April 2004, abgerufen am 24. Januar 2022.
  7. ↑ ASML introduces the industry’s highest NA immersion tool. In: Press release. ASML, 12. Juli 2005, abgerufen am 24. Januar 2022.
  8. ↑ ASML Completes Acquisition of Cymer, 30. Mai 2013
  9. ↑ ASML doet grootste overname ooit. De Telegraaf, 8. November 2012, abgerufen am 14. Mai 2018 (niederländisch).
  10. ↑ a b Stefan Betschon: Grosse Fortschritte bei der Verkleinerung. In: Neue Zürcher Zeitung. 13. Juni 2019, abgerufen am 22. August 2020.
  11. ↑ Martin-W. Buchenau, Joachim Hofer: Die Deutschen spielen eine entscheidende Rolle im globalen Chipgeschäft. In: Handelsblatt. 20. Mai 2019, abgerufen am 22. August 2020.
  12. ↑ ASML mit Zahlen und Übernahme. (Nicht mehr online verfügbar.) boerse.ard.de, 15. Juli 2020, archiviert vom Original am 15. Juli 2020; abgerufen am 15. Juli 2020.
  13. ↑ Iris Teichmann, Monique Mols: ASML-Kauf der Berliner Glas Gruppe abgeschlossen. Die Berliner Glas Gruppe ist jetzt Teil von ASML. Presseinformation. (PDF) In: Berliner Glas Gruppe. Berliner Glas KGaA. Herbert Kubatz GmbH & Co., 2. November 2020, abgerufen am 13. Januar 2021.
  14. ↑ Stephen Nellis: ASML extends sales deal with Chinese chipmaker SMIC to end of 2021. In: Reuters. 3. März 2021 (reuters.com [abgerufen am 5. März 2021]).
  15. ↑ Frank Schräer: Chinesischer Chiphersteller HSMC schließt endgültig. In: heise online. 1. März 2021, abgerufen am 5. März 2021.
  16. ↑ Rob de Wijk discusses the Dutch situation in the geopolitical fight between the USA and China about ASML's chip machines in Dutch newspaper 'NRC'. In: Universiteit Leiden. 23. Januar 2020, abgerufen am 5. März 2021 (englisch).
  17. ↑ Annual Report. (PDF) FORM 10-K. Veeco Instruments, 21. Februar 2018, abgerufen am 16. Mai 2018 (englisch).
  18. ↑ a b Dutch firm ASML perfecting ‘the shrink’ for microchips. Taipei Times, 14. Mai 2018, abgerufen am 16. Mai 2018 (englisch).

Koordinaten: 51° 24′ 16″ N, 5° 25′ 1,3″ O

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